Überblick. - A : Numerische Simulationssysteme. - 1. Numerische Simulationssysteme. - 2. Prozesssimulation. - 3. Geräte-Simulation. - 4. Simulation parasitärer Elemente. - B : Anwendungen und Fallstudien. - 5. Methodik im computergestützten Design für die Prozess- und Geräteentwicklung. - 6. SUPREM III Anwendung. - 7. Simulationstechniken für die fortgeschrittene Geräteentwicklung. - 8. Drain-induzierte Barriereabsenkung in Kurzkanaltransistoren. - 9. Eine Studie zur LDD-Bauelementstruktur mit Hilfe von 2D-Simulationen. - 10. Das Problem der Oberflächeninversion in grabenisoliertem CMOS. - 11. Entwicklung von Isolationsstrukturen für Anwendungen in VLSI. - 12. Transistordesign für die Submikron-CMOS-Technologie. - 13. Eine systematische Studie zu Kompromissen beim Transistordesign. - 14. MOSFET-Skalierung durch CADDET. - 15. Beispiele für die Simulation parasitärer Elemente. - Quellenangaben von 2-D-Programmen. - Tabelle der Symbole. - Über die Autoren. Sprache: Englisch